在最近发表的一项研究中,3-碌通过化学气相沉积(CVD)将m厚的商用parylene-C沉积在预清洁玻璃的顶部,然后采用翻转转移(FOT)工艺确保parylene表面光滑。将210 nm厚的锆、钛和镓掺杂氧化铟(ITGZO)溅射在聚对苯二甲酸乙二醇酯上作为透明导电氧化物(TCO)电极,然后实现反向FPSC。还构建了玻璃和parylene-F(即parylene-VT4)基板上的器件,以验证parylene-C的优势。
这项研究发表在北京大学朱睿教授、王伟教授和龚启煌教授领导的《科学中国》杂志上。
利用扫描电子显微镜(SEM)观察了在parylene-F、parylene-C和玻璃基衬底上生长的钙钛矿薄膜的形貌差异。parylene-F上的钙钛矿薄膜具有很差的薄膜覆盖率,薄膜表面有多个针孔,并且在嵌入的底部界面上显示出界面空洞,这将导致电荷积累并导致器件性能损失。对于在聚对苯二甲酸乙二醇酯(parylene-C)上制备的钙钛矿薄膜,通过表面针孔和界面空洞的消失,可以获得与玻璃基薄膜相同的更好的薄膜均匀性。
超薄parylene-C基FPSC的PCE显著达到20.2%,与普通厚度的FPSC相当。由于聚对苯二甲酸乙二醇酯(parylene-C)衬底上的PCE高,器件重量轻,达到6.67 g/m2,实现了30.3 W/g的单位重量功率,这表明用聚对苯二甲酸乙二醇酯(parylene-C)薄膜制造高效、超薄和超轻太阳能电池的巨大前景。